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产品详情

射频/溅射电源

联系人:王军
联系电话:0838-693****
企业:四川英杰电气股份有限公司
企业地址四川省-德阳市
详细地址四川省德阳市金沙江西路686号
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四川英杰电气股份有限公司成立于1996年,是专业的工业电源设计及制造企业,于2020年2月13日在深交所创业板上市,股票代码:300820。公司是国家高新技术企业、国家知识产权优势企业、国家专精特新“小巨人”企业、四川省优秀民营企业。 公司位于“中国重大技术装备制造业基地”——四川省德阳市,占地280余亩。二十多年来,公司始终以自主研发、持续创新为核心,专注于以功率控制电源、特种电源为代表的工业电源设备的研发制造,产品广泛应用于石油、化工、冶金、机械、建材等传统行业以及光伏、核电、半导体、环保等新兴行业。

产品图片

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MSB系列中频溅射电源

产品特点

● 机架式安装方式
● 快速的电弧响应,响应时间<100ns
● 低能量储存,<0.5mJ/kW
● 采用多相交错PFC技术,功率因数高达0.95
● 输出模式多样,可实现连续、断续模式可选择
● 逆变回路采用全软开关技术,采用第三代半导体SiC作功率器件,效率优异

主要参数

输入

输入电压:3AC380V、50/60Hz

功率等级:20kW

输出路数:2路


输出

最大输出电流:50A*2

最大输出电压:600V*2

技术指标

功率因数:0.95

转换效率:94% 额定状态下±0.5%

调节精度:±0.5%

电弧响应时间:<100ns

尺寸:4U

通讯:标配RS485/RS232(可选配 Profibus、Profinet、DeviceNET、EtherCAT)

注:产品不断创新,性能继续提升,本参数说明仅供参考。


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